机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiN x薄膜的制备
机译:在源极和漏极上制造具有非常薄的SiNx薄膜的隧道介电薄膜晶体管
机译:集成微等离子体反应器的微悬臂探针的无掩模扫描等离子体刻蚀设计与制造
机译:用于无掩模纳米级材料刻蚀的微等离子体反应器阵列的制备和操作
机译:基于八氟环丁烷的等离子放电的特征,用于二氧化硅和低K介电薄膜的选择性刻蚀和处理。
机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiNx薄膜的制备
机译:通过薄膜微萃取与介质屏障放电电离质谱法直接耦合通过直接耦合快速筛选饮料和生物流体的非法药物